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單面拋光機

TAP-500/600 Dual series

該系列拋光機是雙拋光盤的高精密單面拋光設備，可實現四軸同時加工，設備可依據不同晶圓配置相應拋光頭，真空吸附固定晶圓，氣囊加壓，拋光壓頭自轉并兼具擺動，適用于各種半導體材料的拋光。

TAP-500 Dual TAP-600 Dual

晶圓尺寸

6英寸

拋光盤規格

OD520 mm

拋光盤數量

2個

拋光頭數量

4個

Features

產品特點

兼容性好

最大可加工8英寸晶圓

加壓方式

真空吸附固定晶圓氣囊加壓

驅動形式

可實現雙盤4拋光頭同時加工

清洗功能

浸沒超聲清洗壓頭反吹水自清洗