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全自動(dòng)減薄拋光一體機(jī)

TGP-3350

該設(shè)備適用于8-12英寸晶圓的減薄和拋光，全部采用氣浮主軸和氣懸浮轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)計(jì)，具備自動(dòng)測(cè)厚，集成晶圓校準(zhǔn)等功能，全自動(dòng)上下片，干進(jìn)干出。

TGP-3350

最大晶圓尺寸

12英寸

減薄主軸功率

7.5 kw

減薄主軸砂輪尺寸

OD303 mm

拋光頭尺寸

OD450 mm

產(chǎn)品咨詢

Features

產(chǎn)品特點(diǎn)

全自動(dòng)系統(tǒng)

全自動(dòng)上下片，干進(jìn)干出

功能全面

自動(dòng)厚度測(cè)量，集成晶圓校準(zhǔn)，清洗，甩干等功能

兼容性好

適用于8-12英寸硅晶圓的減薄和拋光加工

配置豐富

全部采用氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)計(jì)

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